氮氣是一種非金屬氣體，化學式為N2。它是地球大氣中含量高的氣體之一，占空氣體積的78%。氮氣的組成非常簡單，只有一個元素：氮。它是一種無色、無味、無臭的氣體，在室溫下為氣態。氮氣的沸點為-196.14°C，臨界溫度為-152.96°C。它的相對分子質量為28。
電子氣體在半導體領域的應用至關重要，特別是在半導體材料的制備過程中，用于保護材料的純凈與穩定。特殊材料氣體主要用于外延、摻雜和蝕刻工藝，而高純氣體主要用作稀釋氣和運載氣。氬氣在半導體晶片生長和晶體陶瓷制備中是重要的材料，氦氣則可用于半導體材料的干燥和清洗。據參考文章，電子特氣在集成電路領域應用的種類超過110余種，用于光刻、刻蝕、成膜、清洗、摻雜、沉積等工藝環節，是半導體行業必需的支撐性材料。
氦氣的發現是源于一位法國化學家的實驗。1860年，這位名叫亨利·德維爾的年輕科學家正在研究一種叫做氫油的東西（其實就是煤油的成分）。然而當他將燃燒棒浸入這種液體時卻發生了出人意料的情況：火焰竟然從液滴中飄起！這使他在困惑之余想到這是某種新的氣體的作用結果，于是他便開始對這種未知氣體進行研究并終確定了它的元素性質——這是一種在當時以前聞所未聞到的新物質--氦
這個發現在當時的科學界引起了極大的震動和廣泛的運用.因為其特殊的物理特性,常溫下能攜帶大量的熱而均勻散發的特點使其成為了理想的氣體液化劑從而廣泛應用在了大功率內燃機、飛機發動機以至各種氣球的設計制造領域；此外由于它密度很小還可以充填高壓空氣船等，并且在宇宙航行和新光源的研究工作中也有重要的作用。
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